靶材为什要测量密度？

靶材为什要测量密度？秒准靶材密度计的优势在哪里？

靶材本身的致密度，靶材的致密度很高时，不易吸附，无空隙，背靶易脱落。

为了减少靶材固体中的气孔，提高溅射薄膜的性能，通常要求靶材具有较高的密度。靶材的密度不仅影响溅射速率，还影响着薄膜的电学和光学性能。靶材密度越高，薄膜的性能越好。此外，提高靶材的密度和强度使靶材能更好地承受溅射过程中的热应力。密度也是靶材的关键性能指标之一。

靶材在生产制造的过程中需要对其密度进行测试，采用的方法是阿基米德原理，仪器自动计算出靶材密度g/cm3。目前生产的测试采用人工对靶材进行测量，由于靶材重量大，操作不便，不利于手动计算测试密度。因此需要一种专用密度仪进行操作。因此解决这一问题就显得十分必要。

如何测量靶材的密度？

陶瓷靶材密度测试仪MAY-AE10应用于各种靶材材料。按材质分类可分为金属靶材(纯金属铝、钛、铜、钽等)、合金靶材(镍铬合金、镍钴合金等)、陶瓷化合物靶材(氧化物、硅化物、碳化物、硫化物等)。按应用领域分类靶材可分为半导体芯片靶材、平板显示靶材、太阳能电池靶材、信息存储靶材等等都可以测密度。
原理：根据ASTM B311、B328；MPIF 42、57；JIS Z2505、Z2506、GB/T5163、ISO2738。可适用于采用阿基米德原理浮力法，准确直读量测数值。

秒准靶材密度计经过市场10几年的验证以及不断的研发升级，现已具备以下特点：
1、数显直读，无需人工计算，直接显示密度和体积等参数。

2、全彩7寸触摸屏操作，自带打印功能，可编辑带公司名称物料编码的数据报告。
3、采用梅特勒原装进口传感器，测量精准、操作简便、稳定耐用。
4、具有实际水温补偿功能，可适应测试环境变化。

5、可设定媒介液密度，使用水作介质，也可使用其它液体介质。
6、采用SUS304一体水槽，耐腐蚀耐摔，底部设计静音万向轮，便于移动。

7、含USB通信接口，方便与电脑连接。

8、内置静音排水系统，方便换水。
功能描述：

1、直接读取靶材工件的密度和体积。

特别备注：秒准靶材密度计支持非标定制，已经为多家用户实现自动化密度测试仪非标定制，搭配机械手/吊机，自动完成密度测试，自动输出数据。
技术参数：